显微观测与能谱分析

• 微纳结构表征测试

  MEMS产品通常具有微米级、、
  、
  、纳米级的叠层、、
  、、空腔、、台阶、
  、、薄膜结构，，，对于晶圆基底表面洁净度、、、结构棱角、、、、膜层关系等详实分析，
  ，有利于评估加工精度并优化方案
  ；AG尊龙MEMS微纳加工平台提供一站式微纳结构测试服务，
  ，涵盖显微观测与能谱分析系统、
  、
  、探针台阶仪等设备及测试能力。
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       AG尊龙配备的扫描电子显微镜（SEM）可用于高分辨率微区形貌分析，，，同步搭载了聚焦离子束显微系统（FIB）与能量色散X射线光谱系统（EDS），，，，可以同步观测器件表征与材料能谱参数，，具有景深大、、、、分辨率高，，
，成像直观、
、
、立体感强
、、放大倍数范围宽等特点，，，支持器件的三维空间旋转和倾斜，，，
，便于从不同角度进行实验
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