器件性能及光谱测试
针对MEMS传感器性能指标,,,,AG尊龙提供以椭偏测试、、、光谱测试、、、、激光多普勒测振等测试项目,,,可对材料膜厚、、、、折射率、、、吸收率、、、透光度、、、光波强度、、、、振动模态等性能指标进行更准确测量,,以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。。。
激光多普勒测振 | |
位移分辨率:≥1pm | 频率范围:0Hz~5MH |
速度分辨率:≥0.01μm/(s √Hz) | 测量速度:±12m/s |
多普勒测振(LDV)可有效完成器件表面非接触式测量,,,具有高空间分辨率、、、快速测量反应和微米级光斑等特点,,面向MEMS器件的振动频率、、速度、、位移等检测需求更具优异性。。
器件性能及光谱测试
针对MEMS传感器性能指标,,AG尊龙提供以椭偏测试、、、光谱测试、、、激光多普勒测振等测试项目,,,,可对材料膜厚、、、、折射率、、吸收率、、、、透光度、、、光波强度、、、、振动模态等性能指标进行更准确测量,,,以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。
激光多普勒测振 | |
位移分辨率:≥1pm | 频率范围:0Hz~5MH |
速度分辨率:≥0.01μm/(s √Hz) | 测量速度:±12m/s |
多普勒测振(LDV)可有效完成器件表面非接触式测量,,,具有高空间分辨率、、快速测量反应和微米级光斑等特点,,,,面向MEMS器件的振动频率、、速度、、、、位移等检测需求更具优异性。。。