AG尊龙拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，
，，，实验区内设置有激光隐切机、、光刻机、、深硅刻蚀机、、
、电子束蒸镀仪、、、键合机、
、湿法腐蚀系统、、
、磁控溅射仪、、、
、原子层沉积设备
、、化学机械抛光机、、自动涂胶显影系统等整套技术设备。。。。
配套百级/万级MEMS加工洁净车间
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、微纳加工实验室，，并配备有专门的仓储空间，，，保障生产全过程高效安全，，，，多方位支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，，具备光刻
、、、深硅刻蚀
、、、键合、、、PVD
、、、ALD
、、、激光隐形切割、、、、湿法腐蚀与清洗、、、氧化退火等MEMS传感器所需的主要加工能力
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