薄膜制备工艺

AG尊龙MEMS微纳加工平台可根据客户器件对膜层材料的反射、、、、分束
、
、滤光、、、电学等特性设计需要，，结合基底清洁、
、、活化、、气相沉积、、、、热处理等加工方案，
，，，提供物理气相沉积（电子束蒸镀/磁控溅射）、
、
、原子层沉积（ALD）等组合工艺，，，
，制备具有增透
、、、
、带通、
、、截止、、、
、反射等不同特点的光学膜系和电学器件结构。。。

纳米级、、、、高包裹性薄膜制备

基于自限制性的前驱体交替饱和反应，，，，制备的薄膜厚度
、、、形貌及结构可达到纳米尺度上高度可控，
，具有高致密性、、、
、高保形性、、大面积均匀性等优异性能。
。